UV光氧净化设备对气态有机污染物的降解机理其实是这样的，有足够的能量来产生基，引发一系列复杂的物理、化学反应。由臭氧发生器作用引起的气体有机物化学反应是在气相中进行的电离、离解、激发、原子。分子间的相互结合及加成反应。这个能量足以使大多数气态有机物中的化学键发生断裂，从而使其降解。
等离子光氧净化器从工程的设计、配套、安装、调试、维护等方面提供了很大的可行性、可靠性、灵活性、有效性。UV光氧设备是一种专门去除有毒有害气体及恶臭气体的一种装置。它具有高速率、运行成本低、设备占地面积小，自重轻、无任何机械动作，无噪音等特点，光氧催化废气处理设备净化速率在96%以上，是目前市场上处理有机有害气体有效的废气净化设备。光催化氧化技术单独用在有机废气处理领域中的案例相对较多，但将光催化氧化技术结合常规活性炭吸附工艺应用于异味、恶臭气体的净化处理目前还未广泛应用于实际。目前已有部分企业进行尝试采用光催化氧化+活性炭吸附的方式对有异味、恶臭的有机废气进行处理，文中以某化工厂有异味有机废气处理措施的实际运行数据来浅析该方法的有效性。
关于等离子光氧一体机的技术原理，其实所谓光催化反应，就是在光的作用下进行的化学反应。光化学反应需要分子吸收特定波长的电磁辐射，受激产生分子激发态，然后会发生化学反应生成新的物质，或者变成引发热反应的中间化学产物。光化学反应的活化能来源于光子的能量，在太阳能的利用中光电转化以及光化学转化一直是十分活跃的研究领域。光催化氧化技术利用光激发氧化将O2、H2O2等氧化剂与光辐射相结合。所用光主要为紫外光，包括uv-H2O2、uv-O2等工艺，可以用于处理污水中CCl4、多联等难降解物质。另外，在有紫外光的Fenton体系中，紫外光与铁离子之间存在着协同效应，使H2O2分解产生羟基基的速率大大加快，推动有机物的氧化去除。
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