[2]真空过滤器是将从大气中吸入的污染物（主要是尘埃）收集起来，以防止真空系统中的元件受污染而出现故障。故吸盘与真空发生器（或真空阀）之间，应设置真空过滤器。真空发生器的排气口、真空阀的吸气口（或排气口）和真空泵的排气口也都应装上，这不仅降低噪声而且能起过滤作用，以提高真空系统工作的可靠性。
对真空过滤器的要求是，滤芯污染程度的确认简单，清扫污染物容易，结构紧凑，不致使真空达到时间增长。
真空过滤器安装时，注意进出口方向不得装反。配管不得有泄漏。时，密封件不得损伤。过滤器进口压力不要超过0.5MPa，这可靠调节阀和节流阀来保证。真空过滤器内流速不大，空气中的水分不会凝结。
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